合肥开悦半导体科技有限公司-自研设备

Developed Equipment

自研设备

Rubi3

①12”涂胶显影机。

②Si or Glass， SOC， SOD，Polymide coating and develop ，inline模式。

2023-11-01
Rubi1

①6”& 8”兼容，第二代第三代半导体制造用涂胶显影机

②Si/ GaAs/SiC/LiTaO3/GaN STAND ALONE

2023-11-01
Rubi2

①12”，Stand alone 涂胶显影机。

②Si or Glass， SOC， SOD，offline BARC，Polymide coating and develop ，offline模式。

2023-11-01