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自研设备
Rubi3
①12”涂胶显影机。
②Si or Glass, SOC, SOD,Polymide coating and develop ,inline模式。
2023-11-01
Rubi1
①6”& 8”兼容,第二代第三代半导体制造用涂胶显影机
②Si/ GaAs/SiC/LiTaO3/GaN STAND ALONE
2023-11-01
Rubi2
①12”,Stand alone 涂胶显影机。
②Si or Glass, SOC, SOD,offline BARC,Polymide coating and develop ,offline模式。
2023-11-01
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