Rubi2
①12”，Stand alone 涂胶显影机。
②Si or Glass， SOC， SOD，offline BARC，Polymide coating and develop ，offline模式。
②Si or Glass， SOC， SOD，offline BARC，Polymide coating and develop ，offline模式。
产品优势：
1、高速度：WPH达250~300片。
2、整机设计：4C4D架构，可以升级到12个spin单元。
3、OVEN单元：多元化设计，在传送时同时降温处理。
4、SPIN单元：上下层设计节省空间，满足气体流体力学设计，较少Defect。
5、热板控制：高稳定性、高精准性。
6、热板调试：调试升温曲线，PID 配置。快速升温，满足热板稳定性需求。
