Rubi1

产品优势：

1、高速度：WPH达250~300片。

2、整机设计：4C4D架构，可以拓展8C8D。

3、OVEN单元：多元化设计，在传送时同时降温处理。

4、SPIN单元：上下层设计节省空间，满足气体流体力学设计，较少Defect。

5、热板控制：高稳定性、高精准性。

6、热板调试：调试升温曲线，PID 配置。快速升温，满足热板稳定性需求。